ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне | |
|---|---|
| Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS |
| Утвержден: | Росстандарт, 23.07.2020 |
| Страниц в документе: | 15 |
| Текст и изображение документа: | Word PDF Сканкопия официального издания документа |
