ГОСТ 14715-88 Арматура вакуумная. Типы. Основные параметры ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
ГОСТ 25197-82 Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры ГОСТ 26099-84 Насосы вакуумные поршневые. Типы и основные параметры ГОСТ 26526-85 Оборудование вакуумное. Соединения фланцевые для сверхвысоковакуумных систем. Конструкция, размеры и технические требования
ГОСТ 32974-2014 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 2. Вакуумные насосы объемного действия ГОСТ 32974.1-2016 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения ГОСТ 33517-2015 Вакуумная технология. Угловые клапаны. Размеры и условия подключения для пневматических приводов ГОСТ 33518-2015 Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение рабочих характеристик ГОСТ 33866-2016 Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение крутящего момента для быстрого выключения
ГОСТ 34348-2017 Вакуумная техника. Вакуумметры. Оценивание неопределенностей результатов калибровки при непосредственном сличении с эталоном ГОСТ 5.1150-71 Насосы высоковакуумные диффузионные типа НВД. Требования к качеству аттестованной продукции ГОСТ 5.1300-72 Насосы магниторазрядные диодные охлаждаемые типа НМДО-025-1 (НОРД-250) с блоком питания типа БП-100. Требования к качеству аттестованной продукции ГОСТ 5.413-70 Насос магниторазрядный диодный охлаждаемый типа НМДО-01-1 (НОРД-100) с блоком питания типа БП-150. Требования к качеству аттестованной продукции ГОСТ 5197-85 Вакуумная техника. Термины и определения ГОСТ ISO 3669-2014 Вакуумная техника. Прогреваемые фланцы. Размеры ГОСТ Р 52615-2006 Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы ГОСТ Р 52856-2007 Оборудование вакуумное. Размеры фланцев ГОСТ Р 52912-2008 Диаметры номинальные элементов вакуумных систем. Ряды ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности ГОСТ Р 53334-2009 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 1. Измерение быстроты действия (скорости откачки) ГОСТ Р 53335-2009 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные объемного действия. Измерение рабочих характеристик. Часть 1. Измерение быстроты действия (скорости откачки) ГОСТ Р 54107-2010 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные объемного действия. Измерение рабочих характеристик. Часть 2. Измерение предельного остаточного давления ГОСТ Р 54108-2010 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 2. Измерение предельного остаточного и наибольшего выпускного давлений ГОСТ Р ИСО 27895-2013 Вакуумная технология. Клапаны. Испытания на герметичность ГОСТ Р ИСО 9803-1-2013 Вакуумная технология. Установочные размеры соединений трубопровода. Часть 1. С фланцами без ножевидной кромки ГОСТ Р ИСО 9803-2-2013 Вакуумная технология. Установочные размеры соединений трубопровода. Часть 2. С фланцами с ножевидной кромкой
Федеральный закон 162-ФЗ О стандартизации в Российской Федерации