ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки | |
---|---|
Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS |
Документ рекомендован к использованию вместо: | Р 50.2.014-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки |
Утвержден: | Росстандарт, 15.12.2009 |
Страниц в документе: | 15 |
Текст и изображение документа: | Word PDF Сканкопия официального издания документа |