ГОСТ Р 8.716-2010

ГОСТ Р 8.716-2010 Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика выполнения измерений

Cтатус:Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
Утвержден:Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 21.12.2010
Страниц в документе:11
Текст и изображение документа: Word PDF Сканкопия официального издания документа

Мы используем файлы cookie на нашем сайте

OK