ГОСТ Р 8.716-2010 Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика выполнения измерений | |
---|---|
Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS |
Утвержден: | Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 21.12.2010 |
Страниц в документе: | 11 |
Текст и изображение документа: | Word PDF Сканкопия официального издания документа |