ГОСТ Р ИСО 14644-9-2013 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц | |
---|---|
Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS. ИУС 9-2014 |
Утвержден: | Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 22.11.2013 |
Комментарий: | Идентичен ISO 14644-9:2012 |
Страниц в документе: | 23 |
Изображение документа: | Сканкопия официального издания документа |