ГОСТ Р 71334-2024 Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции | |
---|---|
Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS |
Утвержден: | Росстандарт, 17.04.2024 |
Изображение документа: | Сканкопия официального издания документа |