ГОСТ Р 71422-2024 Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа | |
---|---|
Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS |
Утвержден: | Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 06.06.2024 |
Текст и изображение документа: | Word PDF Сканкопия официального издания документа |