| РД 11 054.298-84 Микросхемы интегральные и полупроводниковые приборы. Технологический процесс надрезания пластин кремния | |
|---|---|
| Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS |
| Утвержден: | Минэлектронпром СССР; МЭП СССР, 30.11.1984 |
| Изображение документа: | Сканкопия официального издания документа |
