| РД 11 14.3319-90 Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Требования к технологическому процессу ионного легирования пластин кремния | |
|---|---|
| Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS |
| Утвержден: | Минэлектронпром СССР; МЭП СССР, 01.07.1991 |
| Изображение документа: | Сканкопия официального издания документа |
