ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования | |
|---|---|
| Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS. Ограничение срока действия снято: Протокол № 2-92 МГС от 05.10.92 (ИУС 2-1993) |
| Синоним: | СТ СЭВ 2760-80 |
| Утвержден: | Госстандарт СССР, 31.03.1982 |
| Страниц в документе: | 3 |
| Текст и изображение документа: | Word PDF Сканкопия официального издания документа |
