ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния | |
---|---|
Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS. Ограничение срока действия снято: Протокол № 7-95 МГС от 01.03.95 (ИУС 11-1995) |
Утвержден: | Госстандарт СССР, 13.07.1984 |
Страниц в документе: | 9 |
Текст и изображение документа: | Word PDF Сканкопия официального издания документа |