| ОСТ 11 14.7006-87 Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Технические требования к технологическому процессу литографии | |
|---|---|
| Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS |
| Взамен: |  ОСТ 11 055.003-78 Полупроводниковые приборы. Фотолитография. Технические требования к технологическому процессу |
| Утвержден: | Минэлектронпром СССР; МЭП СССР, 21.12.1987 |
| Изображение документа: | Сканкопия официального издания документа |
