| ОСТ 11 055.003-78 Полупроводниковые приборы. Фотолитография. Технические требования к технологическому процессу | |
|---|---|
| Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS |
| Документ заменен на: |  ОСТ 11 14.7006-87 Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Технические требования к технологическому процессу литографии |
| Документ: | отсутствует в текущей базе |
| Утвержден: | , 01.01.1978 |
| Библиографические сведения: | присутствуют |
