 |
| Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS. ИУС 5-2010 |
| Вместо этого документа рекомендуется использовать: | ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
|
| Утвержден: | Госстандарт России; Государственный комитет Российской Федерации по стандартизации и метрологии, 30.11.2001 |
| Страниц в документе: | 16 |
| Текст и изображение документа: |
Word
PDF
Сканкопия официального издания документа
|