Р 50.2.014-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки | |
---|---|
Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS. ИУС 5-2010 |
Вместо этого документа рекомендуется использовать: | ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки |
Утвержден: | Госстандарт России, 30.11.2001 |
Страниц в документе: | 16 |
Текст и изображение документа: | Word PDF Сканкопия официального издания документа |