| ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки | |
|---|---|
| Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS |
| Документ рекомендован к использованию вместо: |  Р 50.2.014-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки |
| Утвержден: | Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 15.12.2009 |
| Текст документа: | Word PDF |
ГОСТ 8.197-2013 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости, спектральной плотности потока излучения, спектральной плотности энергетической освещенности, спектральной плотности силы излучения, потока и силы излучения в диапазоне длин волн 0,001 - 1,600 мкм ГОСТ 8.552-2013 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности в диапазоне длин волн 0,0004 – 0,400 мкм ГОСТ Р 8.736-2011 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов измерений. Основные положения
Приказ 972-ст Об утверждении национального стандарта Федеральный закон 162-ФЗ О стандартизации в Российской Федерации
