ГОСТ Р 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки | |
|---|---|
| Cтатус: | Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS |
| Утвержден: | Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 26.08.2008 |
| Комментарий: | Переиздание (февраль 2010 г.) |
| Страниц в документе: | 18 |
| Изображение документа: | Сканкопия официального издания документа |
ГОСТ 12.1.040-83 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие положения ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1 ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация
